1 南阳理工学院 太阳能电池研究所,河南 南阳 473004
2 安彩高科股份有限公司 博士后工作站,河南 安阳 455000
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,乙醇为溶剂,NH3·H20和HCl为催化剂,采用溶胶-凝胶技术,通过调节催化剂控制SiO2纳米颗粒尺度,然后在玻璃上用旋涂法镀膜并对其进行热处理,制备低折射率SiO2减反膜.分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜的结构、物性进行研究,研究不同性质和剂量的催化剂对薄膜结构、折射率的影响.结果表明：通过控制适量的碱酸催化剂可以制备出低折射率多孔结构的SiO2太阳电池减反膜.
溶胶-凝胶 SiO2减反膜 催化剂 薄膜结构 Sol-gel process Silica film Catalytic agent Structure of film
1 Nanyang Institute of Technology, Nanyang 473004, CHN
2 Key Laboratory of Material Physics of the Ministry of Education of China, Zhengzhou University, Zhengzhou 450052, CHN
半导体光子学与技术
2009, 15(2): 117
Key Laboratory of Material Physics for Ministry of Education, Zhengzhou University, Zhengzhou 450052, CHN
Lab. of Mater. Phys. of MEC, Zhengzhou University, Zhengzhou 450052, CHN
